FT1000SA三轴电容传感器由MEMS加速度计及调理电路组成,MEMS传感器是由一个体硅微加工工艺制成的硅元件,一个低功耗ASIC专用信号处理器和一个存储补偿值得微处理器等元件组成。它具有高稳定性,低噪声,低偏置和低温度系数比例。该电容传感器测量的加速度信号,传感器内装调理电路由滤波及电源变换组成。将加速度信号(±20g)变换为标准的电压信号输出。
它有如下特点:
Ø ·抗振、耐冲击、过载能力强
Ø ·高稳定性
Ø ·低噪声
Ø ·大带宽
1. 工作原理
2.1 原理
传感器原理如图(1)在感受到加速度作用时,在惯性力作用下,检测质量块运动,使动极板两侧的电容发生变化。经激励正弦波信号调制,由电容检测器检出。该信号经交流放大器放大,检波和适当的校补反馈到中间极板,由其在电容极板间产生静电力,此静电力的力矩使检测质量块保持在零位。它与加速度作用所引入的力矩大小相等,方向相反。这就表明加速度值与电压成正比,这就意味传感器输出线性地反映了其感受的加速度。
2.2内装电路
内装电路是由滤波,电源变换组成。
2.1. 测量范围: ±20g
2.2. 测试频率范围: 0- 300HZ(±5%)
500HZ(-3dB)
3.3. 灵敏度: 100mV/g
3.4. 非线性: ≤1% F.S
3.5. 工作温度: -40℃~+80℃
3.6. 供电电压: (9-15)VDC
3.7. 供电电流: ≤10mA
3.8. 零位输出: (2.5±0.1)VDC
3.9. 输出电压: ±2V
3.10. 极性: 按箭头方向振动时,输出为正。
3.11. 输出阻抗: ≤100Ω
3.12. 总重量不大于15g
3.13. 电缆长度: 约 3mm